如何解读闭环压电产品的线性度

我们所有的闭环压电产品在参数表中均会列出线性度值，芯明天压电产品的线性度通常在满行程的0.02%-0.1%之间，那么我们该如何理解线性度这个参数呢？

理想的情况下，输入信号（决定压电陶瓷位置的信号）与输出信号（实现的位移）应该是线性的。

线性度描述的是实际的位置与理想位置的接近程度。

闭环压电产品内置的传感器线性度参数是非常重要的。芯明天压电产品可选择电阻应变计传感器或者电容传感器。

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根据灵敏度计算理想位置

根据监测电压，理想位置可以按照以下公式计算：

举例：

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结合线性度通过灵敏度计算的位置

前面已经阐述过，监测输出电压给出系统当前位置，通过灵敏度计算得到的位置会被非线性所改变。 

在闭环线性关系中，实际位置与理想位置之间的偏差即为非线性。基于监测电压，为了得到压电陶瓷实际的位置，非线性必须要被考虑进去。

举例：

165nm的非线性使得239.396μm的位移将会被改变为239.561μm或239.231μm，我们通过以下方式确定传感系统的线性度，用满幅值三角波驱动控制压电陶瓷，系统位置将会被内置的传感器监测调整，外部采用激光干涉仪进行位置检测。

下图为芯明天P11.X压电纳米定位台的线性度曲线图。

与位置有关的数据比如线性度、重复度、控制电压等可在出厂检测报告中给出。